Depozice vrstev pomocí magnetronů a plazmového reaktoru se systémem dutých katod : studium využití plazma-chemických reaktorů pro depozice tribologických, optických a magnetických vrstev

Podrobná bibliografie

Hlavní autor:	Fendrych, František, 1952- (Autor práce)
Další autoři:	Šícha, Miloš, 1930-2012 (Vedoucí práce)
Korporace:	Univerzita Karlova. Matematicko-fyzikální fakulta
Médium:	Rukopis
Jazyk:	čeština angličtina
Vydáno:	2005
Žánr/forma:	disertace
Témata:	plazma tenké vrstvy plazmová polymerace plazmový reaktor
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!