Depozice vrstev pomocí magnetronů a plazmového reaktoru se systémem dutých katod : studium využití plazma-chemických reaktorů pro depozice tribologických, optických a magnetických vrstev
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Korporace: | |
| Médium: | Rukopis |
| Jazyk: | čeština angličtina |
| Vydáno: |
2005
|
| Žánr/forma: | disertace |
| Témata: | |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Stav | Dílčí knihovna | Popis | Umístění | LCC signatura | Stará signatura |
|---|---|---|---|---|---|
|
Sklad, do studovny
Požadavek |
Fond NTK | Sklad | K 62558/1 z |