Depozice vrstev pomocí magnetronů a plazmového reaktoru se systémem dutých katod : studium využití plazma-chemických reaktorů pro depozice tribologických, optických a magnetických vrstev
Uloženo v:
Hlavní autor: |
Fendrych, František, 1952-
(Autor práce) |
---|---|
Další autoři: |
Šícha, Miloš, 1930-2012
(Vedoucí práce) |
Korporace: |
Univerzita Karlova. Matematicko-fyzikální fakulta
|
Médium: | Rukopis |
Jazyk: | čeština angličtina |
Vydáno: |
2005
|
Žánr/forma: | disertace |
Témata: | |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|