Depozice vrstev pomocí magnetronů a plazmového reaktoru se systémem dutých katod : studium využití plazma-chemických reaktorů pro depozice tribologických, optických a magnetických vrstev
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Korporace: | |
| Médium: | Rukopis |
| Jazyk: | čeština angličtina |
| Vydáno: |
2005
|
| Žánr/forma: | disertace |
| Témata: | |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| LEADER | 01439ntm a2200361 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000171087 | ||
| 003 | CZ PrSTK | ||
| 005 | 20110411100104.0 | ||
| 008 | 051129s2005 xr f m 000 0 cze d | ||
| 040 | |a ABA013 |b cze | ||
| 041 | 1 | |a cze |a eng | |
| 072 | 7 | |a 544 |x Fyzikální chemie |2 Konspekt |9 10 | |
| 080 | |a 544.023.223(043) | ||
| 080 | |a 66.088(043) | ||
| 080 | |a 533.9(043) | ||
| 080 | |a 621.793.74(043) | ||
| 100 | 1 | |a Fendrych, František, |d 1952- |7 xx0039347 |4 dis | |
| 245 | 1 | 0 | |a Depozice vrstev pomocí magnetronů a plazmového reaktoru se systémem dutých katod : |b studium využití plazma-chemických reaktorů pro depozice tribologických, optických a magnetických vrstev |h [rukopis] / |c František Fendrych ; školitel Miloš Šícha |
| 260 | |c 2005 | ||
| 300 | |a ii, 178, iv l. : |b il. | ||
| 500 | |a Text též v angličtině | ||
| 502 | |a Univerzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakulta, Praha | ||
| 504 | |a Obsahuje bibliografii | ||
| 653 | 0 | |a plazmový reaktor | |
| 655 | 7 | |a disertace |7 fd132024 |2 czenas | |
| 650 | 0 | 7 | |a plazma |x fy |7 psh3539 |2 psh |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |x ch |7 psh5514 |2 psh |
| 650 | 0 | 7 | |a plazmová polymerace |x ch |7 psh13661 |2 psh |
| 700 | 1 | |a Šícha, Miloš, |d 1930-2012 |7 jn20000402954 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Univerzita Karlova. |b Matematicko-fyzikální fakulta |7 kn20010710349 | |
| 910 | |a ABA013 |b K 62558/1 | ||
| 996 | |a STK |b 2660320757 |c 4296/2005 |d 20051129 |f 364.00 |g K 62558/1 z |l Sklad |t 11 | ||
| 997 | |a SL | ||