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Einfluss von strahlungsinduzierten Elektronen auf die Strukturübertragung zur Herstellung integrierter Schaltungen mittels Röntgenstrahllithographie : Dissertation

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Bibliographic Details
Main Author: Chlebek, Jürgen (Dissertant)
Format: Book
Language:German
Published: 1990
Genre/form:disertace
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NTK collection Closed Stack K 50421