Einfluss von strahlungsinduzierten Elektronen auf die Strukturübertragung zur Herstellung integrierter Schaltungen mittels Röntgenstrahllithographie : Dissertation
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | němčina |
| Vydáno: |
1990
|
| Žánr/forma: | disertace |
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
| Stav | Dílčí knihovna | Popis | Umístění | LCC signatura | Stará signatura |
|---|---|---|---|---|---|
|
Sklad, do studovny
Požadavek |
Fond NTK | Sklad | K 50421 |