Einfluss von strahlungsinduzierten Elektronen auf die Strukturübertragung zur Herstellung integrierter Schaltungen mittels Röntgenstrahllithographie : Dissertation

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Chlebek, Jürgen (Autor práce)
Médium: Kniha
Jazyk:němčina
Vydáno: 1990
Žánr/forma:disertace
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
Obálka

Podobné jednotky