SIMOX

SIMOX explores Separation-by-implanted-oxygen technology, a method of fabricating silicon-on-insulator structures and substrates by implanting high doses of oxygen and high temperature annealing. The book consists of sequence of chapters, each written by a key of contributor to the field and represe...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Další autoři:	Anc, Maria J. (Editor)
Korporace:	IET Digital Library (online služba)
Médium:	E-kniha
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Stevenage : IET, 2004
Edice:	Materials, Circuits & Devices
Žánr/forma:	elektronické knihy
ISBN:	9781849190640
On-line přístup:	Plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!