Introduction to microlithography : theory, materials, and processing : based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983

Podrobná bibliografie

Další autoři:	Thompson, L. F., 1944- Willson, C. G. (C. Grant), 1939- Bowden, M. J., 1943-
Korporace:	American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry American Chemical Society. Meeting American Chemical Society (Distributor)
Médium:	E-kniha
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Washington, D.C. : American Chemical Society, 1983
Edice:	ACS symposium series
Žánr/forma:	elektronické knihy
ISBN:	9780841210400 0841210403 0841207755 9780841207752
On-line přístup:	Plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!