Cite this
Email this
Export Record
Save to List
Order a print copy

Microlithography world

Saved in:
Bibliographic Details
Corporate Author: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers  
Format: Journal
Language:English
Published: Tulsa : PennWell Corporation, 1992
Genre/form:časopisy
ISSN:1074-407X
Subjects:
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Cover Image
LEADER 02761nas a2200565 i 4500
001 000627379
003 CZ PrSTK
005 20220810150755.0
007 ta
008 060331d19922008xxuqr p 0 |eng||
022 |a 1074-407X  |l 1074-407X 
040 |a ABA100  |b cze  |d ABA013  |e rda 
050 0 |a TK7871.85  |b .M532 
072 7 |a 621.38  |x Elektronika  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 655.226  |2 MRF 
080 |a 621.38  |2 MRF 
080 |a 621.3.049.77  |2 MRF 
080 |a 655.2/.3  |2 MRF 
080 |a (051)  |2 MRF 
210 1 |a Microlithogr. world 
222 0 |a Microlithography world 
245 0 0 |a Microlithography world 
264 1 |a Tulsa :  |b PennWell Corporation,  |c [1992]-2008 
300 |a svazky 
310 |a 4x ročně 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
362 1 |a Vydávání zahájeno: vol. 1, no. 1 (Mar./Apr. 2002).  |z Citováno z: ISSN Portal 
362 0 |a -vol. 17, no. 4 (Nov. 2008) 
650 0 7 |a litografie  |x um  |7 psh11791  |2 psh 
650 0 7 |a integrované obvody  |x el  |7 psh2004  |2 psh 
650 0 7 |a mikroelektronika  |x el  |7 psh2038  |2 psh 
655 7 |a časopisy  |7 fd133947  |2 czenas 
710 2 |a Society of Photo-optical Instrumentation Engineers  |7 kn20080415004 
910 |a ABA013  |b R 14497  |c 11791  |r 1998-2008  |p váz. 
964 |a Elektronika - prvky - výroba 
964 |a Mikrolitografie 
964 |a Obvody integrované 
996 |a STK  |b 2660204508  |c 01/3983  |d 20010000  |f 1500.00  |g R 14497/1  |v TK7871 .85 .M532 v.7  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660204509  |c 01/3984  |d 20010000  |f 1500.00  |g R 14497/2  |v TK7871 .85 .M532 v.8 no.1-2  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660212235  |c 02/1190  |d 20020000  |f 1500.00  |g R 14497/3  |v TK7871 .85 .M532 v.9 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660251856  |c 05/1958  |d 20050000  |f 3298.00  |g R 14497/6  |v TK7871 .85 .M532 v.12  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660286851  |c 04/1580  |d 20040000  |f 3769.95  |g R 14497/5  |v TK7871 .85 .M532 v.11  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660291045  |c 03/234  |d 20030000  |f 3701.58  |g R 14497/4  |v TK7871 .85 .M532 v.10 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660307684  |c 06/1296  |d 20060000  |f 2815.00  |g R 14497/7  |v TK7871 .85 .M532 v.13  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660412006  |c 07/3753  |d 20070000  |f 2899.00  |g R 14497/8  |v TK7871 .85 .M532 v.14 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660434262  |c 08/2713  |d 20080000  |f 2682.00  |g R 14497/9  |v TK7871 .85 .M532 v.15 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660640083  |c 10/4414  |d 20101013  |f 2354.60  |g R 14497/11  |v TK7871 .85 .M532 v.17 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03 
996 |a STK  |b 2660649520  |c 09/3187  |d 20091125  |f 2651.00  |g R 14497/10  |v TK7871 .85 .M532 v.16 no.1-4  |l 4.NP, regál 4D/196  |t 03