Optická emisní spektroskopie plazmatu a vytváření tenkých vrstev C-N : habilitační práce

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Rusňák, Karel (Autor práce)
Korporace:	Západočeská univerzita. Fakulta aplikovaných věd
Médium:	Rukopis
Jazyk:	čeština angličtina
Vydáno:	2002
Žánr/forma:	habilitační práce
Témata:	emisní spektroskopie fyzika plazmatu depozice tvrdých vrstev depoziční plazma diagnostika plazmatu magnetronová depozice nitridační výboj
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!